(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Ученые «вручную» создали устройства с размерами менее 10 нанометров

Источник: nanometer

Из двух пересекающихся нанопроволок (слева), используя метод TEBAL, получили транзистор (справа).
Нанокольцо. (источник: University of Pennsylvania)
Аппаратура для метода TEBAL. (источник: University of Pennsylvania)

 

Ключевые слова:  TEM, микроскопия, микроэлектроника, нанолитография, наноструктура, нанотехнология, электронная микроскопия

02 мая 2007

Группа исследователей из Пенсильванского университета (University of Pennsylvania) использовали электронный пучок для того, чтобы «вручную» вырезать из тонких металлических плёнок структуры и устройства размером менее 10 нм. Их метод может повлиять на развитие нанотехнологий, включая наноэлектронику.

Авторы статьи, опубликованный в Nano Letters, профессор Marija Drndić и аспирант Michael Fischbein, используя новый метод, создали большое большое количество наноструктур: нанодиски, нанокольца, нанопроволоки, нанодырки и многополюсные нанотранзисторы (nanodisks, nanorings, nanowires, nanoholes, multi-terminal nano-transistors).

Drndić и Fischbein использовали электронный пучок электронного микроскопа для создания различных металлических наноструктур, удаляя атомы из металлических пленок, Использовались плёнки из золота, серебра или алюминия толщиной от 10 до 50 нанометров, разрезанные на полосы шириной 80 нанометров.

"Это всё равно, что вырезать изо льда при помощи лупы и солнечных лучей", - говорит Fischbein. "Однако, использование электронного пучка вместо солнечных лучей позволяет получить точность на атомарном уровне".

Описанный метод, названные TEBAL (transmission electron beam ablation lithography), позволяет контролировать процесс создания структуры в реальном времени и получать её изображение с атомным разрешением. Все структуры созданные с использованием TEBAL были сделаны «вручную», т.е. человек управлял электронным пучком и наблюдал за тем, какую форму принимает заготовка. "Компьютерное управление приведёт к более высокой степени точности, чем мы продемонстрировали, и созданию достаточно сложных структур на большой площади ", - сказал Fischbein.

TEBAL обладает большим практическим потенциалом, т.к. с помощью этого метода можно создавать разнообразные наноструктуры.




 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 02.05.2007 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
Nero Platinum 2018 VL 5 - 9 License corporate
Business Studio 4.2 Enterprise. Конкурентная лицензия + Business Studio Portal 4.2. Пользовательская именная лицензия.
VMware Fusion 10 Pro, ESD
Microsoft Windows Professional 10, Электронный ключ
IBM Rational Method Composer Authorized User License
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
CASE-технологии
Краткие описания программ и ссылки на них
Работа в Windows и новости компании Microsoft
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100