(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Mark detection in electron beam lithography using evaluation of wave signal symmetry

Источник: sciencedirect

GenyaMatsuokaTeruoIwasakiHiroyoshiAndouYoshinoriMinamide

Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji Tokyo 185, Japan
Instruments Division, Hitachi Ltd., Katsuta Ibaraki 312, Japan

Abstract

A new mark detection method has been developed using the symmetry of mark signals. The calculation of the symmetry is executed by a digital signal processor in order to reduce the detection time to less than 100 msec. Detection accuracy is estimated by a simulator. Calculated accuracy is compared with experiment results. The detection system is adopted in a new electron beam lithography system(1).

Microelectronic Engineering

Volume 21, Issues 1-4, April 1993, Pages 165-168


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
Microsoft Office 365 Бизнес. Подписка на 1 рабочее место на 1 год
SAP® Crystal Presentation Design 2016 WIN INTL NUL
Delphi Professional Named User
YourKit Profiler for .NET - Floating License - 1 year of e-mail support and upgrades
Quest Software. SQL Navigator Professional Edition
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
3D и виртуальная реальность. Все о Macromedia Flash MX.
ЕRP-Форум. Творческие дискуссии о системах автоматизации
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Рабочее зеркало БК Мостбет - как найти? (2)
Узнайте обо всех особенностях по поиску рабочего зеркала БК Мостбет из нашей статьи...
 
Ищу программиста для написания программы (76)
Ищу программиста ,владеющего Вижуал Бэйсик и программированием в Экселе, для написания...
 
Симулятор рулетки без графики. Обязятельно на VB6, Требуется сделать симулятор игры в рулетку по опр (4)
Здравствуйте! Задача такая: Требуется сделать симулятор игры в рулетку по определённой...
 
Realme Narzo 50A (1)
Посмотрела вчера характеристики нового смартфона Realme Narzo 50A...
 
Онлайн покер (6)
Подскажите, пожалуйста, где можно научиться играть в покер в интернете и зарабатывать на этом?
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100