(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Mark detection in electron beam lithography using evaluation of wave signal symmetry

Источник: sciencedirect

GenyaMatsuokaTeruoIwasakiHiroyoshiAndouYoshinoriMinamide

Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji Tokyo 185, Japan
Instruments Division, Hitachi Ltd., Katsuta Ibaraki 312, Japan

Abstract

A new mark detection method has been developed using the symmetry of mark signals. The calculation of the symmetry is executed by a digital signal processor in order to reduce the detection time to less than 100 msec. Detection accuracy is estimated by a simulator. Calculated accuracy is compared with experiment results. The detection system is adopted in a new electron beam lithography system(1).

Microelectronic Engineering

Volume 21, Issues 1-4, April 1993, Pages 165-168


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
Toad Data Modeler Per Seat License/Maint
Bitdefender Antivirus Plus 2020/1 год/1 ПК
go1984 pro
Rational ClearQuest Floating User License
Microsoft 365 Business Basic (corporate)
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
eManual - электронные книги и техническая документация
Работа в Windows и новости компании Microsoft
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Пишу программы на заказ профессионально (3291)
Пишу программы на заказ на языках Pascal (численные методы, списки, деревья, прерывания) под...
 
Нормальные казино в 2021 году (14)
После долгих поисков все таки смог найти хорошие игровухи, хотя и ушла куча времени, пока я...
 
Отличается ли ДрифтКазино от беттинга? (42)
Друзья, давно заметил, что на Дрифте уже несколько месяцев во всю рекламируется и предлагается...
 
tommy1 (1)
This website contains nudity, explicit sexual content and adult language. It should be accessed...
 
Игровые автоматы на настоящие деньги (8)
Только играя в интернет-заведении с лицензией...
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100