(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Mark detection in electron beam lithography using evaluation of wave signal symmetry

Источник: sciencedirect

GenyaMatsuokaTeruoIwasakiHiroyoshiAndouYoshinoriMinamide

Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji Tokyo 185, Japan
Instruments Division, Hitachi Ltd., Katsuta Ibaraki 312, Japan

Abstract

A new mark detection method has been developed using the symmetry of mark signals. The calculation of the symmetry is executed by a digital signal processor in order to reduce the detection time to less than 100 msec. Detection accuracy is estimated by a simulator. Calculated accuracy is compared with experiment results. The detection system is adopted in a new electron beam lithography system(1).

Microelectronic Engineering

Volume 21, Issues 1-4, April 1993, Pages 165-168


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
Radmin 3.x - Стандартная лицензия 1 компьютер
VCL Subscription
Microsoft Office 365 Персональный 32-bit/x64. 1 ПК/MAC + 1 Планшет + 1 Телефон. Все языки. Подписка на 1 год.
Microsoft Office для дома и учебы 2019 (лицензия ESD)
The BAT! Home- 1 компьютер
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
Компьютерная библиотека: книги, статьи, полезные ссылки
Adobe Photoshop: алхимия дизайна
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Пишу программы на заказ профессионально (3290)
Пишу программы на заказ на языках Pascal (численные методы, списки, деревья, прерывания) под...
 
Бесплатные прогнозы на спорт (1)
Сейчас много мошеннических прогнозистов, которые занимаются так называемыми раскрутками счетов,...
 
Топ рейтинг слотов 2021 года (4)
Среди огромного выбора азартных слотов...
 
Игровые автоматы на настоящие деньги (6)
Только играя в интернет-заведении с лицензией...
 
Как выводить деньги в лучших казино? (6)
Порой игрок казино из рейтинга 2021 https://casino2021.net/ все сделал точно, заявка на вывод...
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100