(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Direct-write electron beam lithography in silicon dioxide at low energy

Источник: savoirs

Résumé
Abstract : Electron beam lithography in silicon dioxide has been investigated with energies ranging from 0.5 up to 6 keV. The etch ratio of SiO2SiO2 has been studied and interpreted with regard to the limited penetration of electrons at such low energies. Monte Carlo simulations have been carried out to investigate the depth of penetration and the density of energy absorbed by SiO2SiO2. The etch ratio is also shown to depend on the dilution of the developer (a buffered hydrofluoric acid diluted in water). Finally, a possible application of low energy direct writing in silicon dioxide is described for the control of damascene processes, enabling the fabrication of nanodevices embedded in an insulator.
URI

http://hdl.handle.net/11143/11307

Файлы для загрузки


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
Stimulsoft Reports.Ultimate Single License Includes one year subscription, source code
ABBYY Lingvo x6 Многоязычная Профессиональная версия, электронный ключ
SAP® Crystal Reports 2016 WIN INTL NUL
ESET NOD32 Антивирус - лицензия на 2 года на 3ПК
IBM Domino Enterprise Server Processor Value Unit (PVU) License + SW Subscription & Support 12 Months
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Безопасность компьютерных сетей и защита информации
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
Delphi - проблемы и решения
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Отличается ли ДрифтКазино от беттинга? (32)
Друзья, давно заметил, что на Дрифте уже несколько месяцев во всю рекламируется и предлагается...
 
Реклама (6)
Добрый день. Какое продвижение сделать собственному бизнесу?
 
Пишу программы на заказ профессионально (3290)
Пишу программы на заказ на языках Pascal (численные методы, списки, деревья, прерывания) под...
 
Бесплатные прогнозы на спорт (1)
Сейчас много мошеннических прогнозистов, которые занимаются так называемыми раскрутками счетов,...
 
Топ рейтинг слотов 2021 года (4)
Среди огромного выбора азартных слотов...
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100