(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Direct-write electron beam lithography in silicon dioxide at low energy

Источник: savoirs

Résumé
Abstract : Electron beam lithography in silicon dioxide has been investigated with energies ranging from 0.5 up to 6 keV. The etch ratio of SiO2SiO2 has been studied and interpreted with regard to the limited penetration of electrons at such low energies. Monte Carlo simulations have been carried out to investigate the depth of penetration and the density of energy absorbed by SiO2SiO2. The etch ratio is also shown to depend on the dilution of the developer (a buffered hydrofluoric acid diluted in water). Finally, a possible application of low energy direct writing in silicon dioxide is described for the control of damascene processes, enabling the fabrication of nanodevices embedded in an insulator.
URI

http://hdl.handle.net/11143/11307

Файлы для загрузки


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
SAP® Crystal Reports 2016 WIN INTL NUL
IBM DOMINO COLLABORATION EXPRESS AUTHORIZED USER LICENSE + SW SUBSCRIPTION & SUPPORT 12 MONTHS
Купить Антивирус Dr.Web Server Security Suite для сервера
ABViewer Enterprise пользовательская
ESET NOD32 Cyber Security Pro, лицензия на 1 год
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
Программирование на Visual С++
Программирование на Visual Basic/Visual Studio и ASP/ASP.NET
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Программы Delphi на заказ (247)
Пишу программы в среде Delphi на заказ http://bddelphi.ucoz.ru/
 
Опытная и сработанная команда разработчиков ищет новые проекты (2)
Опытная и сработанная команда разработчиков ищет новые проекты. Работаем вместе уже почти 10...
 
Нормальные казино в 2021 году (18)
После долгих поисков все таки смог найти хорошие игровухи, хотя и ушла куча времени, пока я...
 
Отличается ли ДрифтКазино от беттинга? (51)
Друзья, давно заметил, что на Дрифте уже несколько месяцев во всю рекламируется и предлагается...
 
Как выбирать игровые автоматы в Вулкан казино? (8)
Также не рекомендуется игнорировать и прочие нюансы казино ВУЛКАН https://vulkanvulkan.ru/,...
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100