(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Direct-write electron beam lithography in silicon dioxide at low energy

Источник: savoirs

Résumé
Abstract : Electron beam lithography in silicon dioxide has been investigated with energies ranging from 0.5 up to 6 keV. The etch ratio of SiO2SiO2 has been studied and interpreted with regard to the limited penetration of electrons at such low energies. Monte Carlo simulations have been carried out to investigate the depth of penetration and the density of energy absorbed by SiO2SiO2. The etch ratio is also shown to depend on the dilution of the developer (a buffered hydrofluoric acid diluted in water). Finally, a possible application of low energy direct writing in silicon dioxide is described for the control of damascene processes, enabling the fabrication of nanodevices embedded in an insulator.
URI

http://hdl.handle.net/11143/11307

Файлы для загрузки


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
Антивирус ESET NOD32 Antivirus Business Edition newsale for 5 user, лицензия на 1 год
Oracle Database Standard Edition 2 Named User Plus License
Enterprise Connectors (1 Year term)
Quest Software. Toad for SQL Server Development Suite
Microsoft Office для дома и учебы 2019 (лицензия ESD)
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
Мастерская программиста
3D и виртуальная реальность. Все о Macromedia Flash MX.
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Требуется Краснодар: Java -разрабочик (2)
Обязанности: Разработка корпоративных backend-приложений для автоматизации розничных продаж...
 
Рабочее зеркало БК Мостбет - как найти? (3)
Узнайте обо всех особенностях по поиску рабочего зеркала БК Мостбет из нашей статьи...
 
Ставки на спорт (7)
Добрый вечер! Давно хочу попробовать зарабатывать на ставках. Что посоветуете? Стоит пробовать?
 
Поиск рабочих зеркал МарафонБет (2)
На сегодняшний день, просторы интернета позволяют нам легко найти зеркало на Марафон для входа в...
 
Слот Биг Бэнг (5)
Большой взрыв как правящая теория сотворения мира. Теперь вы можете поиграть слот Big Bang в...
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100