(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Изобретение Калифорнийского университета в области EUV-литографии

Источник: nanonewsnet

Суть предложения заключается в использовании относительно недорогих лазеров на базе двуокиси углерода в 32-нм и более "тонких" техпроцессах. При этом время импульса должно увеличиться от 20 наносекунд, что характерно для современных EUV-лазеров, до более чем 100 наносекунд.

В настоящее время в качестве наиболее вероятных претендентов среди литографических технологий для производства по 22-нм и менее нормам рассматриваются EUV, двойные шаблоны, нанопечать, и электроннолучевая литография множественным пучком. Но, судя по текущему состоянию дел, производители по большей части полагаются именно на EUV-литографию. Компании ASML и Nikon независимо друг от друга планируют представить предварительные версии EUV-инструментов к концу 2009 г. В этом оборудовании будут использоваться лазер-плазменные (Laser Produced Plasma, LPP) источники излучения производства компании Cymer. Источники сообщают, что японская компания GigaPhoton также активно реализует программу по разработке и выпуску LPP-продукции.

Ссылки по теме


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 16.07.2008 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
VideoStudio X9 ULTIMATE. Электронный ключ.
Quest Software. TOAD for SQL Server Xpert Edition
GFI FaxMaker и 1 год поддержки (10-49 лицензий)
Купить, скачать Dr.Web Security Space, 1 год, 1 ПК
Symantec Endpoint Encryption, License, 1-24 Devices
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Вопросы и ответы по MS SQL Server
Программирование на Visual С++
Краткие описания программ и ссылки на них
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100