(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Direct-write electron beam lithography in silicon dioxide at low energy

Источник: savoirs

Résumé
Abstract : Electron beam lithography in silicon dioxide has been investigated with energies ranging from 0.5 up to 6 keV. The etch ratio of SiO2SiO2 has been studied and interpreted with regard to the limited penetration of electrons at such low energies. Monte Carlo simulations have been carried out to investigate the depth of penetration and the density of energy absorbed by SiO2SiO2. The etch ratio is also shown to depend on the dilution of the developer (a buffered hydrofluoric acid diluted in water). Finally, a possible application of low energy direct writing in silicon dioxide is described for the control of damascene processes, enabling the fabrication of nanodevices embedded in an insulator.
URI

http://hdl.handle.net/11143/11307

Файлы для загрузки


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
TeeChart Standard VCL/FMX 2 developer license
Microsoft Office 365 Профессиональный Плюс. Подписка на 1 рабочее место на 1 год
Купить WinRAR : 5 : Академическая лицензия 1 лицензия
Microsoft 365 Business Standard (corporate)
КОМПАС-3D v17 Home
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
Windows и Office: новости и советы
Adobe Photoshop: алхимия дизайна
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Бесплатные прогнозы на спорт (1)
Сейчас много мошеннических прогнозистов, которые занимаются так называемыми раскрутками счетов,...
 
Топ рейтинг слотов 2021 года (4)
Среди огромного выбора азартных слотов...
 
Игровые автоматы на настоящие деньги (6)
Только играя в интернет-заведении с лицензией...
 
Как выводить деньги в лучших казино? (6)
Порой игрок казино из рейтинга 2021 https://casino2021.net/ все сделал точно, заявка на вывод...
 
Отличается ли ДрифтКазино от беттинга? (31)
Друзья, давно заметил, что на Дрифте уже несколько месяцев во всю рекламируется и предлагается...
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100