(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Direct-write electron beam lithography in silicon dioxide at low energy

Источник: savoirs

Résumé
Abstract : Electron beam lithography in silicon dioxide has been investigated with energies ranging from 0.5 up to 6 keV. The etch ratio of SiO2SiO2 has been studied and interpreted with regard to the limited penetration of electrons at such low energies. Monte Carlo simulations have been carried out to investigate the depth of penetration and the density of energy absorbed by SiO2SiO2. The etch ratio is also shown to depend on the dilution of the developer (a buffered hydrofluoric acid diluted in water). Finally, a possible application of low energy direct writing in silicon dioxide is described for the control of damascene processes, enabling the fabrication of nanodevices embedded in an insulator.
URI

http://hdl.handle.net/11143/11307

Файлы для загрузки


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
Kaspersky Internet Security для всех устройств. 3-Device 1 year Base Download Pack
Антивирус ESET NOD32 SMALL Business Pack renewal for 10 user. Электронный ключ
Allround Automation PL/SQL Developer - Unlimited license
Антивирус ESET NOD32 SMALL Business Pack newsale for 5 user. Электронный ключ
Microsoft Windows Professional 10, Электронный ключ
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
Реестр Windows. Секреты работы на компьютере
СУБД Oracle "с нуля"
Мир OLAP и Business Intelligence: новости, статьи, обзоры
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Онлайн казино поиграть (6)
Посоветуйте хорошие варианты
 
Пишу программы на заказ для студентов (279)
Пишу для студентов на с, с++, паскаль в средах ms visual studio, qt, builder, borland c, delphi....
 
Модульный метод создания сайтов (6)
Модульный метод создания (компоновки) сайтов на основе наборов типовых отлаженных функциональных...
 
Опытная и сработанная команда разработчиков ищет новые проекты (3)
Опытная и сработанная команда разработчиков ищет новые проекты. Работаем вместе уже почти 10...
 
Программирование (19)
Хочу начать работать в данной сфере. Где можно всему обучиться?
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100