(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Mark detection in electron beam lithography using evaluation of wave signal symmetry

Источник: sciencedirect

GenyaMatsuokaTeruoIwasakiHiroyoshiAndouYoshinoriMinamide

Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji Tokyo 185, Japan
Instruments Division, Hitachi Ltd., Katsuta Ibaraki 312, Japan

Abstract

A new mark detection method has been developed using the symmetry of mark signals. The calculation of the symmetry is executed by a digital signal processor in order to reduce the detection time to less than 100 msec. Detection accuracy is estimated by a simulator. Calculated accuracy is compared with experiment results. The detection system is adopted in a new electron beam lithography system(1).

Microelectronic Engineering

Volume 21, Issues 1-4, April 1993, Pages 165-168


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
Advanced Data Export VCL Suite (with sources) + 1 Year Maintenance
VMware Workstation Pro 12 for Linux and Windows, ESD
IBM RATIONAL Rose Enterprise Floating User License + Sw Subscription & Support 12 Months
Nero Basic Burning ROM 2018 VL 5 - 9 License corporate
C. Ghisler & Co (Total Commander). Total Commander/Тотал Командер: Для юридических лиц: 1 копия
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
Программирование в AutoCAD
СУБД Oracle "с нуля"
Новые программы для Windows
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Онлайн казино поиграть (6)
Посоветуйте хорошие варианты
 
Пишу программы на заказ для студентов (279)
Пишу для студентов на с, с++, паскаль в средах ms visual studio, qt, builder, borland c, delphi....
 
Модульный метод создания сайтов (6)
Модульный метод создания (компоновки) сайтов на основе наборов типовых отлаженных функциональных...
 
Опытная и сработанная команда разработчиков ищет новые проекты (3)
Опытная и сработанная команда разработчиков ищет новые проекты. Работаем вместе уже почти 10...
 
Программирование (19)
Хочу начать работать в данной сфере. Где можно всему обучиться?
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100