(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Mark detection in electron beam lithography using evaluation of wave signal symmetry

Источник: sciencedirect

GenyaMatsuokaTeruoIwasakiHiroyoshiAndouYoshinoriMinamide

Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji Tokyo 185, Japan
Instruments Division, Hitachi Ltd., Katsuta Ibaraki 312, Japan

Abstract

A new mark detection method has been developed using the symmetry of mark signals. The calculation of the symmetry is executed by a digital signal processor in order to reduce the detection time to less than 100 msec. Detection accuracy is estimated by a simulator. Calculated accuracy is compared with experiment results. The detection system is adopted in a new electron beam lithography system(1).

Microelectronic Engineering

Volume 21, Issues 1-4, April 1993, Pages 165-168


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
Антивирус ESET NOD32 SMALL Business Pack newsale for 10 user. Электронный ключ.
IBM RATIONAL Quality Manager Quality Professional Authorized User Single Install License + Sw Subscription & Support 12 Months
GFI LanGuard подписка на 1 год (25-49 лицензий)
Quest Software. TOAD for SQL Server Xpert Edition
FastReport FMX 2 Single
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
Программирование на Visual С++
Delphi - проблемы и решения
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Как выводить деньги в лучших казино? (6)
Порой игрок казино из рейтинга 2021 https://casino2021.net/ все сделал точно, заявка на вывод...
 
Отличается ли ДрифтКазино от беттинга? (31)
Друзья, давно заметил, что на Дрифте уже несколько месяцев во всю рекламируется и предлагается...
 
Автомобиль (5)
Доброй ночи. Планируем приобрести авто, рассматриваем б.у варианты, как проще всего подобрать...
 
Ищу программиста для написания программы (71)
Ищу программиста ,владеющего Вижуал Бэйсик и программированием в Экселе, для написания...
 
Помощь по MS Access (341)
Доброе время суток. Случайно оказался на этом сайте, искал статьи по OLAP. Вижу, что...
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100