(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

NanoMaker

NanoMaker - это литографическая система, предназначенная для проектирования 2D и 3D структур и их экспонирования на электронных (SEM), ионных (FIB) микроскопах и промышленных литографах.

Почему NanoMaker?

NanoMaker предоставляет уникальные методы и технологии создания микро- и наноструктур, проверенные более чем 20-ти летним опытом эксплуатации:
  • содержит графический редактор, позволяющий проектировать иерархические литографические структуры практически любого размера и любой сложности;
  • оптимизирует дозу (время) экспонирования, учитывая эффект близости для 2D/3D структур и рассчитывает другие параметры процесса таким образом, что гарантирует 100% результат за одну литографию;
  • моделирует проявление резиста;
  • компенсирует дисторсию отклоняющей системы микроскопа при работе в большом поле;
  • значительно сокращает общее время экспонирования за счет активной компенсации динамических ошибок отклоняющей системы микроскопа;
  • позволяет экспонировать без бланкера;
  • включает Монте Карло моделирование для расчета параметров эффекта близости в случае многослойных подложек;
  • может использоваться как диагностический инструмент для получения с высоким разрешением панорамных изображений поверхности пространных микро-объектов. Например, для фотографирования топологии при обратном проектировании Интегральных Схем (IC).

Ни одна из компаний производящих аналогичные системы на мировом рынке не предлагает такой набор функций.

Назначение и задачи

NanoMaker предназначен для решения следующих задач:
  1. предоставить пользователю мощную, универсальную и удобную систему для преобразование любого сканирующего электронного или ионного микроскопа в литограф;
  2. обеспечить достижение предельного литографического разрешения на конкретном приборе и с этой целью:
    1. осуществлет коррекцию эффекта близости в процессе подготовки данных для литографии;
    2. позволяет прогнозировать и оптимизировать результы литографии посредством моделирования проявления резиста;
    3. компенсирует ошибки отклоняющей системы при экспонировании и снятии изображений;
    4. легко адаптируется под различные конфигураций литографического оборудования, учитывая системы бланкирования луча, моторизованные столы и т.д.;
  3. создавать трехмерные структуры в резисте с использованием дозовых кривых;
  4. обеспечить расширенные возможности при проектировании голограмм и киноформных приложений;
  5. способствовать ознакомлению пользователей с основными принципами литографии за счет интуитивно-понятного интерфейса, логичной последовательности операций и прочной теоретической основы.

Области применения

  • Микроэлектроника;
  • Нанотехнологии, нанофизика;
  • 3D нано- и микроструктурирование;
  • MEMS (микро-электромеханические системы);
  • MOEMS (микро-оптоэлектромеханические системы);
  • Дифракционная оптика (синтезированные голограммы) для видимого и рентгеновского диапазона, включая радужные голограммы;
  • Микромашининг, микрофлюидика

Растровый электронный микроскоп под управлением NanoMaker

Легко устанавливается на:

  • Сканирующие электронные микроскопы: JEOL, FEI, ZEISS, HITACHI, LEO, PHILIPS, TESCAN,...
  • Установки с острым ионным пучком (FIB)


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 21.10.2010 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
FastReport FMX 2 Single
Антивирус ESET NOD32 SMALL Business Pack newsale for 5 user. Электронный ключ
ReSharper Ultimate - Commercial annual subscription
Kaspersky Internet Security для всех устройств. 2-Device 1 year Base Download Pack
CAD Import .NET Professional пользовательская
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Один день системного администратора
Программирование на Visual Basic/Visual Studio и ASP/ASP.NET
Краткие описания программ и ссылки на них
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100