Описание PROXY for Windows

к.ф-м.н. А.Свинцов


Цель создания PROXY for Windows.

1. Превратить любой растровый электронный микроскоп (РЭМ) в литограф.
2. Достигнуть при литографии предельного разрешения, которое позволяет данное технологическое оборудование. Для чего

3. Обеспечить исчерпывающее предсказание результатов литографии за счет моделирования.
4. Обеспечить гибкую настройку под различные конфигурации литографического оборудования, независимо от наличия или отсутствия системы бланкирования пучка, присутствия и типа столика и т.д.
5. Предоставить возможность создавать в резисте трехмерные объекты, заданные в виде изоуровней (террас).
6. Достигнуть всего этого быстро и с наименьшими затратами для пользователя. Так, чтобы работа с данными и экспонирование напоминало работу по созданию документов и их печать на принтере в текстовом редакторе для WINDOWS.
7. Научить пользователя основам электронной литографии.


Составные части Proxy for WINDOWS

Proxy разработана для обеспечения четырех основных типов деятельности:

1. Подготовка данных для экспонирования. Вызывается из меню File при открытии нового или существующего файла Графической Базы Данных (с расширением GDB), или при импорте файлов с другими форматами данных (с расширениями ELM, CSF, GDS, DXF). Процедура подготовки данных включает:

2. Работа с видео. Измерения. Вызывается из меню File при открытие нового (New Video Control) или существующего файла системы маркерных знаков (Open) (с расширением MRK), или при импорте видео изображения (файлы с расширениями TIF). Включает:

3. Экспонирование (диалог Exposure, вызывается из меню File). Содержание работ:

4. Отдельное управление столом и его настройка (диалог Stage, вызывается из меню File). Работы:


Interface Ltd.

По техническим вопросам обращайтесь к вебмастеру
Документ опубликован: 11.07.00