Информация о разработчике

---

Компания Интерфейс Ltd. имеет большой опыт в качестве разработчика программного и аппаратного обеспечения и оказания технического и консалтингового сопровождения.

Компания Интерфейс Ltd. активно работает в области автоматизации электронно-лучевой литографии, начиная с 1991 г. совместно с Институтом Проблем Технологии Микроэлектроники и Особо Чистых Веществ РАН (http://www.ipmt-hpm.ac.ru). До 2001 года на мировом рынке через компанию "Raith GmbH" (http://www.raith.de) распространялся программно-аппаратный комплекс PROXY-WRITER.

С 2001 года был разработана усовершенствованная версия NanoMaker для Windows, www.nanomaker.ru.

Комплекс NanoMaker предоставляет обширный набор возможностей для проведения электронной литографии с помощью стандартных растровых электронных микроскопов. NanoMaker дает возможность экспонировать 2D и 3D структуры с высокой точностью. При подготовке данных и экспонировании программно корректируются эффект близости и дефекты развертки электронного пучка (динамические задержки пучка и дисторсия поля). Внедрение такого комплекса в научно-исследовательских лабораториях позволяет получить существенный экономический эффект.

Программно-аппаратный комплекс NanoMaker имеет интуитивно понятный графический интерфейс для создания и проектирования структур, позволяет пользователю осуществлять моделирование проявления резиста, учитывать коррекцию эффекта близости для плоских и трехмерных структур, рассчитывать компенсацию статических искажений отклоняющей системы, измерять и активно подавлять динамические ошибки отклоняющей системы пучка. NanoMaker позволяет также осуществлять дизайн и моделирование таких сложных структур как голограммы и киноформная оптика, а также работать с дозовыми кривыми резистов для трехмерных структур. В стандартные функции NanoMaker включены функции работы со столом, снятия изображения, возможности "врисовывания" в существующие структуры с высокой степенью точности. Предоставляется возможность работы со снятым изображением: осуществлять сглаживание изображения, просматривать поперечное сечение, наносить метки масштаба и надписи.

Графический редактор в качестве базовых элементов имеет как простые, так и сложные геометрические объекты. Один из новых базовых элементов редактора - зонная пластина. Есть возможность работать с текстом, пользоваться функцией задания текущего времени. Пользователю предоставляется возможность работы со справочной таблицей, содержащей информацию и рекомендации практически по всем известным материалам резиста и подложки.

Достоинством системы NanoMaker является возможность работать с изображениями, полученными в других форматах, например, .dfx, .csf, .gds, .tif, .bmp. Настоящая версия NanoMaker выпускается как 32-х разрядное приложение и предназначена для работы в среде Windows 9x, NT, 2000 и XP.

Разработка программно-аппаратного комплекса NanoMaker была осуществлена для широкого спектра микроскопов и в настоящее время внедрена и эксплуатируется на JEOL JSM-840, LEO 1560, BS-300, Philips SEM 525, Hitachi S-4000, на комплексах ZRM-12, ZRM-20, а также на ионных литографах с фокусированным пучком.

Программно-аппаратный комплекс NanoMaker позволяет на практике превращать растровые электронные микроскопы в полноценные литографы. Использование NanoMaker на промышленных литографических установках (например, ZBA20, ZBA21) существенно расширяет и улучшает их характеристики и дает возможность достичь предельного разрешения установки.